물리학과

KANGWON NATIONAL UNIVERSITY

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연구실

반도체물리 연구실

반도체물리연구실
  • 지도교수 : 윤종환 교수
  • 위치 : 자연과학대학1호관 106호
  • 연구분야 : 반도체, 나노물질

반도체 물리학 실험실에서는 반도체에 관한 전반적인 연구 및 실리콘 웨이퍼를 이용한 실리콘 박막의 성장 , 특성 및 응용에 대하여 연구하고 있다.

1. PECVD 를 이용한 박막 제작 및 연구

PECVD 장치를 이용한 수소화에 의한 결정화에 관한 연구 및 두께에 따른 박막의 물성 연구를 수행하고 있다.

PECVD -> Vacuum Plating ->Conductivity, PECVD -> Photo luminescence확대